长晶装备
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机电研发的晶体生长设备,满足大尺寸晶体生长,技术与规模双领先
滚圆机械
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机电推出应用于外圆滚磨的专用加工设备,可加工硅棒直径兼容8英寸和12英寸,加工精度高,自动化程度高,稳定性强
立即切断设备
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机电研发出用于硅棒截断的专用加工设备,可加工硅棒直径兼容8英寸和12英寸,可取样片、锥头截断、晶段截断,加工效率高,客户使用成本低,自动化程度高
线切专用设备
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机电研发出了光伏硅、半导体硅、蓝宝石三大领域的晶体切片设备,满足4英寸至12英寸多规格的高质量切片需求
倒角机械设备
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机电研发的半导体级高精度倒角设备,可加工8英寸和12英寸的单晶硅片,加工效率快、精度高、稳定性强
磨细机械设备
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机电研发出应用于半导体级单晶硅片的双面精密研磨设备,可加工8英寸和12英寸的单晶硅片,加工效率快、精度高
减薄设施设备
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机电研发的磨削设备,主要用于半导体单晶硅片的单面磨削,也可用于其它脆硬材料的单面高精度磨削
角处镜面抛光
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机电研发出应用于半导体单晶硅片边缘部分的抛光设备,可加工8英寸和12英寸单晶硅片,填补了国内12英寸边抛机的空白,实现了进口设备替代
正反面打磨
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机电研发出了碳化硅、半导体硅、蓝宝石三大领域的研磨抛光设备,满足6英寸至12英寸多规格的高质量研磨抛光需求,具有产能高、精度高、稳定性高的优势
终极抛
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机电研发出12英寸硅片最终抛光设备,并实现国产化配套应用,实现进口设备替代,设备自动化程度、稳定性高,加工天博
平坦度好
85英寸抛光源
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机电研发的8英寸抛光线,实现进口设备替代,设备自动化程度高、稳定性好,可对接多种形式自动上下料方式,满足客户定制化需求
半导体设备村料游戏装备(部份產品)
拥有8-12英寸半导体硅片从晶体生长到加工的全链条设备