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先进装备

天博在线登录网页 机电以创新引领天博 、工艺、装备的迭代和突破，聚焦国际先进科技及卡脖子技术，推动国产半导体装备的产业化进程和产业链升级。以核心技术驱动公司稳健及可持续发展，以价值引领服务客户和投资者。
功率半导体及先进制程装备 半导体材料装备 光伏装备

8英寸「单面式硅外延性繁殖炉』

天博在线登录网页 机电研发的8英寸单片式硅外延生长炉，可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长，结构可靠稳定，有较好的膜厚和电阻均匀性

6英寸「氢氟酸处理硅外延性炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸碳化硅外延炉，可实现生长过程自动化控制，有较好的薄膜均匀性，兼容4英寸、6英寸外延片生长，结构简单，单片成本低

6英寸「旋转式无定形碳硅外延性炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸立式碳化硅外延炉，可实现对4英寸、6英寸晶圆外延的生长，成膜质量优，工艺稳定性好，生产效率有效提升

6英寸「双片式增碳硅外加炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸双片式碳化硅外延炉，与单片设备相比，单台产能增加70%，单片运营成本降幅可达30%以上

8英寸「炉管』

天博在线登录网页 机电研发的8英寸炉管，可同时对150片天博 进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需求，设备自动化程度高，可对接工厂MES系统

12英寸「炉管』

天博在线登录网页 机电研发的12英寸炉管，可同时对125片天博 进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需求，设备自动化程度高，可对接工厂MES系统

先进制程及功率半导体装备（部门类天博 ）

以CVD技术为核心，应用于先进制程、功率半导体的外延装备
8英寸「单片式硅外延生长炉』
6英寸「碳化硅外延炉』
6英寸「立式碳化硅外延炉』
6英寸「双片式碳化硅外延炉』
8英寸「炉管』
12英寸「炉管』
先进制程及功率半导体装备（部分天博 ）

8英寸「单面式硅概念出现炉』

天博在线登录网页 机电研发的8英寸单片式硅外延生长炉，可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长，结构可靠稳定，有较好的膜厚和电阻均匀性

6英寸「氧化硅外延性炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸碳化硅外延炉，可实现生长过程自动化控制，有较好的薄膜均匀性，兼容4英寸、6英寸外延片生长，结构简单，单片成本低

6英寸「立试氧化硅外加炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸立式碳化硅外延炉，可实现对4英寸、6英寸晶圆外延的生长，成膜质量优，工艺稳定性好，生产效率有效提升

6英寸「双片式无定形碳硅本质炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸双片式碳化硅外延炉，与单片设备相比，单台产能增加70%，单片运营成本降幅可达30%以上

8英寸「炉管』

天博在线登录网页 机电研发的8英寸炉管，可同时对150片天博 进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需求，设备自动化程度高，可对接工厂MES系统

12英寸「炉管』

天博在线登录网页 机电研发的12英寸炉管，可同时对125片天博 进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需求，设备自动化程度高，可对接工厂MES系统

先进制程及功率半导体装备（一部分设备）

以CVD技术为核心，应用于先进制程、功率半导体的外延装备
8英寸「单片式硅外延生长炉』
6英寸「碳化硅外延炉』
6英寸「立式碳化硅外延炉』
6英寸「双片式碳化硅外延炉』
8英寸「炉管』
12英寸「炉管』
先进制程及功率半导体装备（部分天博 ）

8英寸「单支式硅外加生长期炉』

天博在线登录网页 机电研发的8英寸单片式硅外延生长炉，可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长，结构可靠稳定，有较好的膜厚和电阻均匀性

6英寸「无定形碳硅外延性炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸碳化硅外延炉，可实现生长过程自动化控制，有较好的薄膜均匀性，兼容4英寸、6英寸外延片生长，结构简单，单片成本低

6英寸「落地式无定形碳硅外延性炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸立式碳化硅外延炉，可实现对4英寸、6英寸晶圆外延的生长，成膜质量优，工艺稳定性好，生产效率有效提升

6英寸「双片式无定形碳硅概念炉』

天博在线登录网页 机电研发的6英寸双片式碳化硅外延炉，与单片设备相比，单台产能增加70%，单片运营成本降幅可达30%以上

8英寸「炉管』

天博在线登录网页 机电研发的8英寸炉管，可同时对150片天博 进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需求，设备自动化程度高，可对接工厂MES系统

12英寸「炉管』

天博在线登录网页 机电研发的12英寸炉管，可同时对125片天博 进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需求，设备自动化程度高，可对接工厂MES系统

先进制程及功率半导体装备（部门成品）

以CVD技术为核心，应用于先进制程、功率半导体的外延装备
8英寸「单片式硅外延生长炉』
6英寸「碳化硅外延炉』
6英寸「立式碳化硅外延炉』
6英寸「双片式碳化硅外延炉』
8英寸「炉管』
12英寸「炉管』
先进制程及功率半导体装备（部分天博 ）
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